クリーンルームとは、
「空気中の浮遊塵埃が限定された清浄度レベル以下に管理された部屋」のことです。
クリーンルームの原則として４つ挙げられています
1、塵埃が発生するものを持ち込まない
2、塵埃を発生させない
3、塵埃を排除する
4、塵埃を堆積させない
その部屋のクリーン度を維持するには様々な設備が必要です。
必要な清浄度を維持するためのHEPAフィルター等のフィルターを付け基準以上の塵埃を取る。（部屋にある塵埃を取り除く）
塵埃が外から侵入しないように、クリーンルーム内を陽圧にする。（部屋に塵埃を侵入しにくくする。小さな虫は陽圧になっているため侵入しにくくなる。）
塵埃の発生・付着や堆積を抑える室構造として、壁・天井には塵埃の出ないようなパネルを張る。（木製パネルでは塵埃、虫が発生する）
人やパレットなど外からの塵埃を持ち込まないための、エアーシャワー等の設備。（外からの塵埃を防ぐ）
必要に応じた制御精度をコントロールできる制御用空調設備。（空気を循環させることで塵埃フィルターで塵埃を取り除く）
クリーンルームの清浄度は「一定の体積中の基準の大きさ以上の塵埃の数量」で示されます。一般的に使われているものは209Eと言われ「米国連邦空気清浄度基準」です。これは１フィート立方中（28.8リットル）に0.5ミクロン以上の微粒子が何個あるかで表します。
209Eのクラス100とは１フィート立方中に0.5ミクロン以上の微粒子が100個以下であることです。1,000個以下であればクラス1,000。同じように0.5ミクロン以上の微粒子が10,000個以下であればクラス10,000と言い、数字が小さい程塵埃の無い空間になります。
アメリカ連邦規格Fed.Std.209E 最大空中塵埃数/１立方フィート)
Fed.Std.209E
|
≧0.1μｍ
|
≧0.2μｍ
|
≧0.3μｍ
|
≧0.5μｍ
|
≧5μｍ
|
クラス1
|
35
|
7.5
|
3
|
1
|
0.007
|
クラス10
|
350
|
75
|
30
|
10
|
0.07
|
クラス100
|
3500
|
750
|
300
|
100
|
0.7
|
クラス1000
|
35000
|
7500
|
3000
|
1000
|
7
|
クラス10000
|
350000
|
75000
|
30000
|
10000
|
70
|
クラス100000
|
3500000
|
750000
|
300000
|
100000
|
700
|
国際標準に適合するため、ISO規格やJIS規格も制定されました。これは１立方ｍ中にある0.1μｍ以上の微粒子が対象になります。
ISO基準
|
≧0.1μｍ
|
≧0.2μｍ
|
≧0.3μｍ
|
≧0.5μｍ
|
≧1μｍ
|
≧5μｍ
|
209E基準
|
ISO1
|
10
|
2.37
|
1.02
|
0.35
|
0.083
|
0.0029
|
|
ISO2
|
100
|
23.7
|
10.2
|
3.5
|
0.83
|
0.029
|
|
ISO3
|
1000
|
237
|
102
|
35
|
8.3
|
0.29
|
クラス1
|
ISO4
|
10000
|
2370
|
1020
|
352
|
83
|
2.9
|
クラス10
|
ISO5
|
100000
|
23700
|
10200
|
3520
|
832
|
29
|
クラス100
|
ISO6
|
1000000
|
237000
|
102000
|
35200
|
8320
|
293
|
クラス1000
|
ISO7
|
10000000
|
2370000
|
1020000
|
352000
|
83200
|
2930
|
クラス10000
|
ISO8
|
100000000
|
23700000
|
10200000
|
3520000
|
832000
|
29300
|
クラス100000
|
ISO9
|
1000000000
|
237000000
|
102000000
|
35200000
|
8320000
|
293000
|
室内クラス
|
小野工業ではクリーンルーム、クリーンブース共にクラス1000となっています。
小野工業のクリーンルームの説明はこちら
「https://ono-plus.com/product/#cleanroom」
小野工業のスリッター機一覧はこちら
「https://ono-plus.com/product/#film」
